课程名称：MEMS与微纳制造技术
授课教师: 陈华英
授课时间：每年春季
课程简介：
该课程是微型机电系统（MEMS）介绍课程。 针对具有机械工程，微电子，材料和微流体等背景的研究生。无先修课程要求。
本课程将 i) 讲解MEMS的历史、工作原理、制作材料以及和制造技术；ii）系统的介绍MEMS在生命科学等多个领域中的应用。
教学目的：
a)使学生掌握MEMS涉及的基本原理和关键技术；
b)使学生具有微纳米制造领域的坚实的理论背景;
c)培养学生设计和分析MEMS的关键部件的分析和实用方法;
d)是学生了解MEMS的应用概况。
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