2022年9月22日，王序进院士及团队到微纳流体力学实验室参观和交流。

王序进院士简介：

王序进院士在海内外长期从事微纳加工、芯片制造核心工艺和设备的研发，是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域研发成功了高效经济成型磨齿工艺，获得中国首届青年科技奖。研发的LED蓝宝石垫底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献。在半导体制程领域研发成功了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备，这一成果得到国际CMP业界高度评价，并获得日本精密工学会技术奖。世界上首次研发成功了带型单层硬质CMP研磨垫工艺并实现SoC半导体芯片CMP制程量产。研发成功了新型3层构造CMP研磨垫，实现世界上最高的平坦度和均匀性的综合CMP性能，并实现DRAM半导体存储器芯片CMP制程量产。研发成功了浸润式光刻机投影镜头在线检测用新型光学微纳器件，实现高端半导体芯片浸润式光刻制程稳定量产。在先进影像技术领域，研发成功了世界最高性能的在单个图像传感器上同时实现RGB可视光和NIR近红外线成像的多光谱照相机。王序进院士在日本、美国、中国、中国台湾、韩国获数十项授权发明专利。

交流照片

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